Développe une compréhension détaillée du dépôt et de la gravure des matériaux par décharge de pulvérisation, ainsi que de la gravure des matériaux par décharge chimiquement active. Aborde la décharge luminescente à plusieurs niveaux, des phénomènes fondamentaux aux applications industrielles, en reliant soigneusement les techniques pratiques aux principes fondamentaux. Les sujets vont de la tension et des distributions rencontrées dans les systèmes de gravure plasma aux interactions plasma-électron qui contribuent au maintien de la décharge. Catégories : Ingénierie & Transport...
Read the full description
Développe une compréhension détaillée du dépôt et de la gravure des matériaux par décharge de pulvérisation, ainsi que de la gravure des matériaux par décharge chimiquement active. Aborde la décharge luminescente à plusieurs niveaux, des phénomènes fondamentaux aux applications industrielles, en reliant soigneusement les techniques pratiques aux principes fondamentaux. Les sujets vont de la tension et des distributions rencontrées dans les systèmes de gravure plasma aux interactions plasma-électron qui contribuent au maintien de la décharge.
Catégories :
- Ingénierie & Transport
- Ingénierie
- Électricité & Électronique
- Télécommunications & Capteurs
Détails du livre
-
Auteur : Chapman, Brian N.
-
Format : relié
-
Édition : 1
-
Éditeur : Wiley-Interscience
-
Langue : Anglais
-
Pages : 406
-
ISBN-13 : 9780471078289
